매스플로우컨트롤러,MASS FLOW CONTROLLER

 

 

 

 

 

 

 

 

※전원 표시 설정기 일체형 컨트롤러·MFC-컨트롤러간용 케이블·AC전원 케이블이 필요합니다.
※N2가스 이외에도 대응 가능합니다.문의해 주세요.

 

 

 

[특징]

● 고정밀도로 재현성이 높은 고속 제어 가능합니다.

 

 

[사양]

● 적합 가스:N2가스
● 제어 유량 범위:2~100%FS
● 유량 정도:±1%FS(정도 보증 범위 15~35℃)
● 내압:1 MPa(G)
● 전원:DC±15V
● 접속 이음새:1/4˝F900