초고진공 진공펌프 시스템 GWMS 시리즈   

 

 

GWMS 시리즈 오일 프리 초고진공 펌핑 장치는 무급유(Oil Free) 방식으로 초고진공을 발생 시키기 위한 터보진공 펌프와 스크롤 진공펌프와 조화된 펌핑으로 초고진공을 발생 시킵니다.

 

▶ 제 품  사 양


 

Model

GWMS600/600

GWMS300Z/300

GWMS100Z/150

터보펌프(Turbo Pump)

TYFB-600

TYFB-300Z

TYFB-100Z

스크롤펌프(Scroll Pump)

GWSP600

GWSP300

GWSP150

최대 진공압

Pa

≦6.0×10-7

≦6.0×10-7

≦6.0×10-6

Torr

≦4.5×10-9

≦4.5×10-9

≦4.5×10-8

mbar

≦6.0×10-9

≦6.0×10-9

≦6.0×10-8

psi

≦8.7×10-11

≦8.7×10-11

≦8.7×10-10

유량

l/s

6.0×102

3.0×102

1.0×102

l/min

3.6×104

1.8×104

6.0×103

m3/h

2.1×103

1.0×103

3.6×102

cfm

1.2×103

6.0×102

2.1×102

모터(Motor)

3 phase, 380/220V/50Hz

작업온도

5~40

Start Time

min

<3

소음

dB(A)

≦63

≦63

≦63

사이즈

mm

950×570×730

730×570×700

500×510×680

최대 배기압력

MPa

0.13

Inlet Direction

Vertical

360°

360°

Inlet / Exhaust Flange

CF150/KF16

CF100/ KF16

CF100/ KF16

Cooling

Air cooled

 

 

제품문의:파인즈 TEL: 032-679-1717